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日別アーカイブ: 2025年7月22日
CBworksのよもやま話～第10回～
皆さんこんにちは！
福岡県大牟田市を拠点に、管工事、機械据付工事、プラント工事、制作・溶接工事、熱絶縁工事、足場仮設解体工事を専門とする
株式会社CBworks、更新担当の富山です。
配管工事の施工の流れ
半導体工場の配管工事がどのように施工されるのか、その流れを詳しく見ていきます。
高純度な流体を扱うため、一般的な配管工事とは異なる特殊な技術や管理手法が求められます。
1. 半導体工場の配管工事の施工プロセス
半導体工場の配管工事は、以下のような手順で進められます。
設計と計画立案
材料の選定と調達
配管の加工と前処理
現場での設置作業
試験・検査（リークチェック・洗浄など）
引き渡しと運用開始
それぞれの工程を詳しく解説していきます。
2. 施工の詳細プロセス
① 設計と計画立案
半導体工場では、配管の清浄度・耐薬品性・耐圧性 などを考慮した精密な設計が求められます。
✅ 流体の種類（高純度ガス・超純水・薬液など）に応じた配管ルートの決定
✅ クリーンルーム内の空気の流れを考慮した設計
✅ 配管同士が干渉しないよう最適な配置を計画
この段階で問題があると、施工後に不具合が生じる可能性があるため、慎重に設計を行います。
② 材料の選定と調達
高純度ガスや超純水を扱うため、通常の配管とは異なる特殊な材料 を選定する必要があります。
✅ ステンレス鋼（SUS316L） → 耐腐食性が高く、精密な溶接が可能
✅ フッ素樹脂（PFA・PTFE） → 薬品耐性が強く、薬液配管に適している
✅ 炭素鋼（スチール配管） → 耐圧性が必要な場合に使用
材料の選定ミスがあると、配管の耐久性が損なわれるため、慎重に決定します。
③ 配管の加工と前処理
半導体工場の配管は 工場内で事前に加工・洗浄され、現場に搬入 されます。
✅ 精密な切断・曲げ加工を行い、設計図通りの形状に整える
✅ 溶接部分の洗浄（電解研磨や化学洗浄）を行い、不純物を除去する
✅ 超純水配管や高純度ガス配管は、工場内でクリーンルーム環境下で製作される
一般的な配管と違い、ホコリや金属粉が混入しないよう厳格な管理が必要 です。
④ 現場での設置作業
配管の設置作業は、クリーンルーム内で行われるため、厳しいルールが適用 されます。
✅ 作業員はクリーンスーツ・手袋・マスクを着用し、異物混入を防ぐ
✅ 配管の接合には精密な溶接技術（TIG溶接など）が使用される
✅ フッ素樹脂製の配管は継手を使用し、接続部分を最小限に抑える
微細なホコリや油分も製造プロセスに影響を与えるため、徹底した清掃と管理が求められます。
⑤ 試験・検査（リークチェック・洗浄など）
設置が完了したら、配管の安全性や清浄度を確認するための 各種試験 を行います。
✅ リークチェック（ヘリウム検査）
→ 高純度ガスが漏れないか、ヘリウムを使用して微細な漏れも検出
✅ 圧力試験
→ 配管が耐圧基準を満たしているか、水圧や空気圧で確認
✅ 洗浄・フラッシング
→ 配管内に付着した異物を完全に除去し、純粋な流体を流せる状態にする
試験結果が合格した後、工場側の承認を得て、次の工程に進みます。
⑥ 引き渡しと運用開始
試験が完了し、問題がなければ、工場に引き渡し、運用が開始 されます。
✅ 最終チェックで設備全体の安全性を確認
✅ 運用スタッフへ配管システムの説明と引き継ぎを実施
✅ 定期的なメンテナンススケジュールを策定し、長期的な運用を支援
この段階でのミスがあると、製造ラインに影響を与える可能性があるため、慎重に進めます。
3. まとめ
半導体工場の配管工事は、設計から試験・引き渡しまで、厳格な管理が求められる精密な工事 です。
✅ 設計段階で流体の種類や配管ルートを慎重に決定
✅ 適切な材料を選定し、耐久性と耐薬品性を確保する
✅ クリーンルーム内での施工は、厳格な管理のもとで実施される
✅ リークチェックや洗浄を徹底し、異物混入を防ぐ
次回は 「半導体工場の配管に使用される材料と特徴」 について詳しく解説します。
どのような材料が使われ、それぞれの特性は何かを詳しく紹介していきます。
次回もお楽しみに！
福岡県大牟田市を拠点に、管工事、機械据付工事、プラント工事、制作・溶接工事、熱絶縁工事、足場仮設解体工事を専門としております。
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