CBworksのよもやま話～第11回～

皆さんこんにちは！

福岡県大牟田市を拠点に、管工事、機械据付工事、プラント工事、制作・溶接工事、熱絶縁工事、足場仮設解体工事を専門とする

株式会社CBworks、更新担当の富山です。

半導体工場の配管に使用される材料と特徴

前回は半導体工場の配管工事の具体的な施工プロセスについてお話ししました。

今回は、半導体工場で使用される配管材料とその特性について詳しく解説します。

半導体製造では、ガスや液体の純度を保つために適切な配管材料を選定することが不可欠です。

誤った材料を使用すると、化学反応による汚染や腐食、漏れが発生し、製造ラインの不具合につながります。

1. 半導体工場の配管に求められる特性

✅ 高純度の維持 → 配管内に汚染物質が発生しないこと

✅ 耐薬品性 → 強酸・強アルカリに耐えられること

✅ 耐圧性・耐熱性 → 高温・高圧環境に適応できること

✅ 耐腐食性 → 長期間の使用に耐え、錆びないこと

2. 主要な配管材料と特徴

① ステンレス鋼（SUS316L）

✅ 高い耐食性・耐熱性を持ち、高純度ガス配管に最適

✅ 溶接可能で、精密な加工が可能

✅ 酸素・窒素・水素などの高純度ガス配管に使用

② フッ素樹脂（PFA・PTFE）

✅ 耐薬品性に優れ、薬液配管に適している

✅ 超純水配管にも使用され、汚染リスクを低減

✅ 耐熱性が高く、長期的に安定した性能を発揮

③ 炭素鋼（スチール配管）

✅ 耐圧性に優れ、高圧ガスの配管に使用

✅ 表面処理を施すことで耐腐食性を向上

✅ 一部の排気配管や冷却水配管に用いられる

次回は「半導体工場の配管の洗浄・メンテナンス」について詳しく解説します。

次回もお楽しみに！

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