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CBworksのよもやま話~第14回~

皆さんこんにちは!

 

福岡県大牟田市を拠点に、管工事、機械据付工事、プラント工事、制作・溶接工事、熱絶縁工事、足場仮設解体工事を専門とする

株式会社CBworks、更新担当の富山です。

 

 

 

半導体工場の配管工事を成功させるポイント

~ミクロン単位の精度が問われる現場で、“確実に”成果を出すために~


前回は、半導体工場における配管施工の最新技術と今後の展望についてご紹介しました。
自動溶接、ナノコーティング、AI監視など、配管の世界もハイテク化が進んでいます。

では、そうした先進技術を活用しながら、実際に工事を“成功”させるためには、何が必要か?
今回は、配管工事の“実行フェーズ”において重要なポイントを、段階ごとに解説していきます。


1. 施工を成功させるためのポイント

 

半導体工場の配管工事は、一般建築や通常の産業施設に比べて、遥かに高度な清浄性・精密性・管理能力が求められます。
そのため、以下の3つのポイントは、成功のための“最低条件”といえるでしょう。

 


✅ 施工前の計画をしっかり立てる

 

最初の段階である「設計・計画」において、どれだけ綿密な準備ができるかで、現場の成功率は大きく変わります。

  • 配管ルートの衝突確認(BIMによる干渉チェックなど)

  • 施工順序・仮設計画・安全計画の策定

  • 使用材料・工法・工具類の選定と事前手配

  • 工期・工数・人員配置の最適化

特に、**他業種との同時施工が多い半導体現場では、「誰が」「どこで」「いつ何をするか」**のスケジューリングが命です。


✅ 熟練した技術者を確保する

 

高純度ガス配管、超純水ライン、薬液供給系統など、半導体設備における配管は、
ミリ単位の精度、極限までの清浄性、均一な溶接品質が求められます。

このため、配管工事を担うのは溶接・施工・清掃すべてに精通した専門技術者でなければなりません。

  • TIG溶接に熟練した職人の確保

  • 配管内洗浄やパージ処理に対応できる技能者

  • 施工管理技士による現場統括と工程確認

また、定期的な教育訓練や外部認証資格の取得も継続的に行うことが、品質維持には不可欠です。


✅ 定期メンテナンスを組み込む

 

施工完了が「ゴール」ではなく、“スタート地点”
長期間にわたって配管を正常に稼働させるためには、メンテナンス性まで見越した施工設計が必要です。

  • バルブや継手部分へのアクセス性の確保

  • モジュールごとの交換性を考慮した分岐設計

  • スケジュールに基づく清浄度維持の洗浄計画

特に半導体工場では、1本の配管トラブルがライン停止=巨額の損失につながるため、
「壊れる前に防ぐ」思想が常に求められます。


2. 配管工事に欠かせない“チェックリスト”

 

施工の品質は、管理の精度で決まるといっても過言ではありません。
以下は、施工時に必ず確認すべき代表的なチェック項目です。


✅ 使用する材料の適合確認

 

  • 図面・仕様書通りの材質か?(SUS316Lなど)

  • パーツのロット管理とトレーサビリティ確保

  • 製品に傷や汚染がないか事前検査


✅ 清浄度管理の徹底

 

  • 配管内のブロー・パージ・薬液洗浄の実施記録

  • 現場内への異物持ち込み制限

  • クリーンルーム規格に応じた防塵対策の徹底(静電防止衣着用など)


✅ 施工後の試験・検査を必ず実施

 

  • 漏れ試験(気密試験、水圧試験)

  • 溶接部の外観検査・X線検査などの非破壊検査

  • 完成図書と施工記録の整備・提出

これらのチェックを現場・監督・品質部門が三位一体となって行うことで、
「正しく施工された配管」であることを証明し、クライアントの信頼につなげていきます。


3. まとめ:配管工事成功の鍵は、“計画・技術・管理”の三本柱

 

半導体工場の配管工事は、ただ「つなぐ」「流す」だけではありません。

そのすべてが製品品質・生産効率・工場稼働率に直結する、非常に重要なインフラです。

成功のためには:

  • ✅ 設計段階から清浄度と保守性を意識すること

  • ✅ 実作業では、高い精度と確実な技術を実行すること

  • ✅ 工事後も含めて“長期視点”での品質管理を徹底すること

 

これらすべてを妥協なく積み上げてこそ、世界最先端の半導体製造を支える配管工事が実現するのです。

 

 

 

次回もお楽しみに!

 

 

 

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